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  • OYS-1200C-II-60-PECVD滑動PECVD管式爐系統
    OYS-1200C-II-60-PECVD是一款中型滑動開啟式PECVD系統。此款成套設備配有等離子射頻電源，三路質量流量混氣系統（量程為1-100SCCM， 1-200SCCM，1-200SCCM），直徑為60mm的開啟式管式爐（帶真空法蘭和連接管道）及機械泵組成。
    更新時間：2025-01-08型號：OYS-1200C-II-60-PECVD廠商性質：生產廠家
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